Με την ταχεία επανάληψη των βιομηχανιών ημιαγωγών, μικροηλεκτρονικής και νέας ενέργειας, οι γκοφρέτες αγωγών έχουν γίνει το βασικό υλικό βάσης για την κατασκευή τσιπ, συσκευές ισχύος και οπτοηλεκτρονικά εξαρτήματα. Η επιπεδότητα της επιφάνειας, η ομοιομορφία του πάχους και η τραχύτητα της επιφάνειας των πλακών αγωγών καθορίζουν άμεσα την απόδοση, τη σταθερότητα και τη διάρκεια ζωής των κατάντη ηλεκτρονικών προϊόντων. Ο παραδοσιακός εξοπλισμός επεξεργασίας πλακιδίων αντιμετωπίζει σημαντικά σημεία πόνου, όπως χαμηλή αυτοματοποίηση, κακή ακρίβεια επεξεργασίας, ασταθής συνέπεια χειροκίνητης λειτουργίας και χαμηλή απόδοση, τα οποία δεν μπορούν πλέον να ανταποκριθούν στις υψηλές-πρότυπες απαιτήσεις επεξεργασίας των πλακών αγωγών υψηλού-τελικού. Για την επίλυση των σημείων συμφόρησης της βιομηχανίας, κυκλοφόρησε ο πρόσφατα αναβαθμισμένος ημι{5}}αυτόματος εξοπλισμός λείανσης και στίλβωσης πλακών ακριβείας για αγωγούς, ο οποίος ενσωματώνει μηχανικό έλεγχο ακριβείας, έξυπνη ανίχνευση και συλλογική λειτουργία ανθρώπινων-μηχανών, που εξισορροπεί τέλεια την ακρίβεια επεξεργασίας, την ευελιξία της παραγωγής και την αξιόπιστη λύση του κόστους κατασκευαστές γκοφρετών.
Βασικός Σχεδιασμός και Αρχή Εργασίας
Αυτός ο νέος ημι-μηχανισμός λείανσης και στίλβωσης πλακιδίων είναι ειδικά βελτιστοποιημένος για τα χαρακτηριστικά επεξεργασίας αγώγιμων υλικών όπως το πυρίτιο, το γερμάνιο, το αρσενίδιο του γαλλίου και το καρβίδιο του πυριτίου. Υιοθετεί έναν ημι-αυτόματο ανθρώπινο-συνεργατικό τρόπο λειτουργίας μηχανής, πραγματοποιώντας αυτοματοποιημένη λείανση, σταθερή{4}}γυάλισμα πίεσης, ανίχνευση πάχους σε πραγματικό-χρόνο και έξυπνη ρύθμιση παραμέτρων, ενώ διατηρεί λειτουργίες χειροκίνητης παρέμβασης για ευέλικτο εντοπισμό σφαλμάτων και ειδική επεξεργασία πλακιδίων. Διαφορετικό από τον πλήρως αυτόματο εξοπλισμό με υψηλό κόστος και χαμηλή ευελιξία και τον παραδοσιακό χειροκίνητο εξοπλισμό χαμηλής ακρίβειας, πραγματοποιεί την οργανική ενσωμάτωση υψηλής ακρίβειας και υψηλής προσαρμοστικότητας.
Ο εξοπλισμός είναι εξοπλισμένος με μια εξαιρετικά-επίπεδη πλάκα λείανσης και στίλβωσης ακριβείας και μια χωρισμένη ομοιόμορφη κεφαλή στίλβωσης υπό πίεση. Μέσω της τεχνολογίας ελέγχου πίεσης κλειστού-βρόχου, πραγματοποιεί ομοιόμορφη κατανομή πίεσης στην επιφάνεια του πλακιδίου, αποφεύγοντας αποτελεσματικά τη στρέβλωση του πλακιδίου, την κατάρρευση των άκρων και την ανομοιόμορφη στίλβωση. Οι ενσωματωμένοι-υψηλής-ακρίβειας-επιτόπιοι αισθητήρες μέτρησης πάχους και τα συστήματα ανίχνευσης τελικού σημείου μπορούν να παρακολουθούν το πάχος της πλακέτας και τον ρυθμό αφαίρεσης υλικού σε πραγματικό χρόνο κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επεξεργασίας, να προσαρμόζουν αυτόματα την ταχύτητα λείανσης, τον χρόνο στίλβωσης και τη ροή λείανσης και να κλειδώνουν με ακρίβεια το τελικό σημείο επεξεργασίας, εξασφαλίζοντας accuracy{8}. Επιπλέον, το ανεξάρτητο αυτόματο σύστημα επιδέσμου μπορεί να κόβει τακτικά τον δίσκο λείανσης και στίλβωσης για να διατηρεί την επιφάνεια του δίσκου επίπεδη και σταθερή, διασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη{10}}συνεχή και σταθερή απόδοση επεξεργασίας του εξοπλισμού.
Βασικά Τεχνικά Πλεονεκτήματα
1. Εξαιρετικά-Υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα επεξεργασίας
Υποστηριζόμενος από πλατφόρμα ελέγχου κίνησης ακριβείας και εξαρτήματα ανίχνευσης υψηλής-ευαισθησίας, ο εξοπλισμός επιτυγχάνει εξαιρετικά αυστηρούς δείκτες επεξεργασίας. Η ανοχή πάχους γκοφρέτας ελέγχεται εντός ±1μm, η τραχύτητα της επιφάνειας μετά το γυάλισμα φτάνει στο επίπεδο του καθρέφτη και το σφάλμα επιπεδότητας είναι εξαιρετικά χαμηλό. Μπορεί να αφαιρέσει αποτελεσματικά το επιφανειακό στρώμα ζημιάς και τις μικρο{4}}ρωγμές που δημιουργούνται κατά τη διαδικασία κοπής της γκοφρέτας, να βελτιστοποιήσει τη μικροσκοπική μορφολογία της επιφάνειας των αγώγιμων πλακών και να βελτιώσει σημαντικά την ηλεκτρική αγωγιμότητα και τη θερμική σταθερότητα της γκοφρέτας. Η σταθερή μηχανική δομή και το έξυπνο σύστημα ελέγχου κλειστού-βρόχου διασφαλίζουν συνεπή αποτελέσματα επεξεργασίας στην παραγωγή παρτίδων, με εξαιρετική επαναληψιμότητα.
2. Ημι-Αυτόματη συνεργατική λειτουργία, υψηλή απόδοση και ευελιξία
Ο εξοπλισμός υιοθετεί μια λογική ημι{0}}λογική λειτουργίας. Ολόκληρες οι διαδικασίες αυτόματης τοποθέτησης τροφοδοσίας, λείανσης σταθερής-ταχύτητας, στίλβωσης σταθερής-πίεσης και ανίχνευσης μέσω διαδικτύου ολοκληρώνονται αυτόματα, γεγονός που μειώνει τους συνδέσμους χειροκίνητης λειτουργίας και βελτιώνει την απόδοση παραγωγής. Εν τω μεταξύ, διατηρεί τις λειτουργίες χειροκίνητης ρύθμισης και επείγουσας επέμβασης, οι οποίες είναι βολικές για τους τεχνικούς να προσαρμόζουν τις παραμέτρους επεξεργασίας σύμφωνα με τις προδιαγραφές του πλακιδίου, τη σκληρότητα του υλικού και τις απαιτήσεις επεξεργασίας. Είναι κατάλληλο τόσο για μαζική παραγωγή τυπικών αγώγιμων πλακών όσο και για μικρές-προσαρμοσμένες παρτίδες επεξεργασίας ειδικών-γκοφρετών προδιαγραφών, λύνοντας το πρόβλημα ότι ο πλήρης-αυτός εξοπλισμός είναι απλός στην εφαρμογή και ο παραδοσιακός εξοπλισμός είναι-έντονης εργασίας.
3. Ευρεία συμβατότητα Υλικών Επεξεργασίας και Προδιαγραφών
Αυτός ο εξοπλισμός λείανσης και στίλβωσης ακριβείας έχει ισχυρή προσαρμοστικότητα υλικού, καλύπτοντας κοινά αγώγιμα υλικά ημιαγωγών όπως μονοκρυσταλλικό πυρίτιο, πολυκρυσταλλικό πυρίτιο, γκοφρέτες γερμανίου, αρσενίδιο γαλλίου και νιοβικό λίθιο. Υποστηρίζει την επεξεργασία γκοφρετών πολλαπλών μεγεθών από μικρά-πειραματικά δείγματα έως μεγάλου-βιομηχανικού μεγέθους γκοφρέτες και μπορεί να προσαρμοστεί στις απαιτήσεις επεξεργασίας αραίωσης και στίλβωσης με καθρέφτη διαφορετικού πάχους αγώγιμων πλακών. Είτε πρόκειται για εξαιρετικά λεπτή αραίωση ακριβείας γκοφρέτας είτε για συμβατικό γυάλισμα επιφάνειας γκοφρέτας, μπορεί να επιτύχει εξαιρετικά αποτελέσματα επεξεργασίας.
4. Έξυπνη παρακολούθηση και χαμηλό κόστος λειτουργίας
Ο εξοπλισμός είναι εξοπλισμένος με ένα έξυπνο σύστημα αλληλεπίδρασης ανθρώπου-μηχανής, το οποίο μπορεί να εμφανίζει δεδομένα επεξεργασίας σε πραγματικό-χρόνο, όπως το πάχος της πλακέτας, την ταχύτητα επεξεργασίας, την τιμή πίεσης και τον υπολειπόμενο χρόνο επεξεργασίας. Διαθέτει πολλαπλές λειτουργίες προστασίας, όπως προστασία υπερφόρτωσης, συναγερμός ανωμαλίας πίεσης και αυτοανίχνευση σφαλμάτων του εξοπλισμού, που μειώνει αποτελεσματικά το ποσοστό αστοχίας του εξοπλισμού και το ποσοστό απορριμμάτων επεξεργασίας. Ο βελτιστοποιημένος δομικός σχεδιασμός μειώνει την απώλεια αναλωσίμων και μηχανικών εξαρτημάτων στίλβωσης και η ημι{5}}λειτουργία εξοικονομεί σημαντικά το κόστος εργασίας, επιτρέποντας στις επιχειρήσεις να αποκτούν αποτελέσματα επεξεργασίας υψηλής-ακρίβειας με χαμηλότερο κόστος παραγωγής.
Κύρια σενάρια εφαρμογής
Ως συσκευή επεξεργασίας υψηλής-ακρίβειας για αγώγιμες γκοφρέτες, αυτός ο εξοπλισμός χρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή γκοφρετών ημιαγωγών, στην παραγωγή συσκευών ημιαγωγών ισχύος, στην επεξεργασία οπτοηλεκτρονικών τσιπ, στην προετοιμασία δειγμάτων εργαστηριακής ακρίβειας και σε άλλους τομείς. Είναι ειδικά κατάλληλο για την ακριβή λείανση και στίλβωση αγώγιμων πλακών υποστρώματος που απαιτούνται για IGBT, MOSFET, φωτοβολταϊκά κύτταρα και τσιπ αισθητήρων. Μπορεί να βελτιώσει αποτελεσματικά την ποιότητα της επιφάνειας και την ακρίβεια διαστάσεων των αγώγιμων πλακών, να θέσει γερές βάσεις για τη συσκευασία και τη δοκιμή των επόμενων συσκευών ημιαγωγών και να βοηθήσει τις μεταγενέστερες βιομηχανίες να βελτιώσουν την απόδοση των προϊόντων και την ανταγωνιστικότητα της αγοράς.
Συχνές Ερωτήσεις (Συχνές Ερωτήσεις)
Ε1: Ποιοι τύποι αγώγιμων πλακών είναι κατάλληλος για επεξεργασία αυτός ο εξοπλισμός;
A1: Ο εξοπλισμός είναι συμβατός με τις περισσότερες γκοφρέτες αγώγιμων ημιαγωγών, όπως μονοκρυσταλλικό πυρίτιο, πολυκρυσταλλικό πυρίτιο, γερμάνιο, αρσενίδιο του γαλλίου, καρβίδιο του πυριτίου, νιοβικό λίθιο και άλλα αγώγιμα κρυσταλλικά υλικά. Υποστηρίζει αραίωση ακριβείας και γυάλισμα καθρέφτη τυπικών και ειδικών{2}}αγώγιμων πλακών προδιαγραφών για ημιαγωγούς, οπτοηλεκτρονικά και συσκευές ισχύος.
Ε2: Ποια είναι η ακρίβεια επεξεργασίας του εξοπλισμού; Μπορεί να πληροί-υψηλά πρότυπα κατασκευής chip;
A2: Ο εξοπλισμός επιτυγχάνει ανοχή επεξεργασίας πάχους ±1μm, με εξαιρετικά-χαμηλή τραχύτητα επιφάνειας και υψηλή συνολική επιπεδότητα. Μπορεί να αφαιρέσει πλήρως το επιφανειακό στρώμα ζημιάς των πλακών, ικανοποιώντας πλήρως τις απαιτήσεις επεξεργασίας ακριβείας των τσιπ υψηλής ισχύος, οπτοηλεκτρονικών τσιπ και συσκευών αισθητήρων ημιαγωγών, και φτάνοντας στο βιομηχανικό υψηλό- επίπεδο επεξεργασίας.
Ε3: Ποια είναι τα πλεονεκτήματα της ημι-λειτουργίας σε σύγκριση με τον πλήρως αυτόματο και χειροκίνητο εξοπλισμό;
A3: Σε σύγκριση με τον χειροκίνητο εξοπλισμό, έχει υψηλότερη ακρίβεια επεξεργασίας, καλύτερη συνέπεια και υψηλότερη απόδοση παραγωγής και αποφεύγει τα σφάλματα επεξεργασίας που προκαλούνται από διαφορές στη λειτουργία του ανθρώπου. Σε σύγκριση με τον πλήρως αυτόματο εξοπλισμό, έχει χαμηλότερο κόστος προμήθειας και συντήρησης, πιο ευέλικτη προσαρμογή παραμέτρων και μπορεί να προσαρμοστεί σε μικρές-παρτίδες προσαρμοσμένες σενάρια επεξεργασίας και πειραματικής επεξεργασίας δειγμάτων, με ευρύτερα σενάρια εφαρμογής και υψηλότερη απόδοση κόστους.
Ε4: Υποστηρίζει ο εξοπλισμός προσαρμοσμένες παραμέτρους επεξεργασίας για διαφορετικά υλικά γκοφρέτας;
Α4: Ναι. Ο εξοπλισμός διαθέτει σύστημα ρυθμιζόμενων παραμέτρων. Οι τεχνικοί μπορούν να ρυθμίσουν και να αποθηκεύσουν ανεξάρτητα παραμέτρους επεξεργασίας όπως ταχύτητα λείανσης, πίεση στίλβωσης, χρόνο επεξεργασίας και δοσολογία λειαντικού σύμφωνα με τη σκληρότητα, το πάχος και τις απαιτήσεις επεξεργασίας διαφορετικών αγώγιμων υλικών πλακιδίων, πραγματοποιώντας προσαρμοσμένη επεξεργασία ακριβείας διαφορετικών προϊόντων.
Ε5: Τι καθημερινή συντήρηση απαιτεί ο εξοπλισμός; Είναι δύσκολη η επέμβαση;
A5: Ο εξοπλισμός έχει αρθρωτή και εύκολη--διατήρηση. Η καθημερινή συντήρηση περιλαμβάνει μόνο τον τακτικό καθαρισμό του δίσκου γυαλίσματος, τον έλεγχο της ευαισθησίας του αισθητήρα και την αναπλήρωση των αναλωσίμων. Η διεπαφή αλληλεπίδρασης του ανθρώπου-μηχανής είναι απλή και διαισθητική, με ένα-πλήκτρο εκκίνησης και λειτουργίες αυτόματης λειτουργίας. Οι χειριστές μπορούν να κατακτήσουν τις βασικές δεξιότητες λειτουργίας μετά από απλή εκπαίδευση και το όριο λειτουργίας είναι χαμηλό.
Ε6: Μπορεί ο εξοπλισμός να επεξεργαστεί εξαιρετικά λεπτές αγώγιμες γκοφρέτες χωρίς στρέβλωση ή ζημιά;
Α6: Ναι. Εξοπλισμένος με διαχωρισμένη ομοιόμορφη-τεχνολογία στίλβωσης υπό πίεση και σύστημα ρύθμισης βρόχου κλειστού{3}}σε πραγματικό χρόνο-, ο εξοπλισμός πραγματοποιεί ομοιόμορφη πίεση στην επιφάνεια του πλακιδίου κατά την επεξεργασία. Μπορεί να αποφύγει αποτελεσματικά τη στρέβλωση της γκοφρέτας, το θρυμματισμό των άκρων και τις μικρο-ρωγμές κατά την επεξεργασία των εξαιρετικά λεπτών γκοφρετών, διασφαλίζοντας την ακεραιότητα και την επιπεδότητα των εξαιρετικά λεπτών αγώγιμων πλακών μετά την επεξεργασία.
