Βασικές προδιαγραφές που πρέπει να αξιολογήσετε κατά την αγορά ενός συστήματος γυαλίσματος γκοφρέτας
Η επιλογή ενός γυαλίσματος γκοφρέτας (ή χημικής-μηχανικής επιπεδοποίησης
- Το σύστημα CMP) είναι μια κρίσιμη απόφαση επένδυσης κεφαλαίου για οποιαδήποτε εγκατάσταση κατασκευής ημιαγωγών. Το σωστό σύστημα επηρεάζει άμεσα την απόδοση παραγωγής, την απόδοση της συσκευής και το μακροπρόθεσμο-μακροπρόθεσμο- κόστος λειτουργίας. Με τους τεχνολογικούς κόμβους να συνεχίζουν να συρρικνώνονται στο μονοψήφιο-εύρος νανομέτρων, οι απαιτήσεις για ακρίβεια CMP δεν ήταν ποτέ μεγαλύτερες.
Για να λάβουν μια τεκμηριωμένη απόφαση, οι μηχανικοί και οι ειδικοί στις προμήθειες πρέπει να αξιολογήσουν προσεκτικά αρκετές βασικές τεχνικές προδιαγραφές. Αυτός ο οδηγός περιγράφει τις πιο κρίσιμες παραμέτρους που πρέπει να ληφθούν υπόψη.
1. Δυνατότητα διαδικασίας: Ακρίβεια και απόδοση
Αυτή η κατηγορία ορίζει την ικανότητα του συστήματος να παρέχει το απαιτούμενο φινίρισμα επιφάνειας και επιπεδότητα στη γκοφρέτα.
Μετρήσεις PlanarityPlanarity:Αυτή είναι η κύρια λειτουργία της CMP.
Εντός-Γκοφρέτας μη-ομοιομορφίας (WIWNU):Μετρά τη διακύμανση πάχους σε μια μεμονωμένη γκοφρέτα. Ένα χαμηλότερο ποσοστό WIWNU υποδηλώνει ανώτερη ομοιομορφία διαδικασίας.
Γκοφρέτα-έως-Μη-Γκοφρέτα (WTWNU):Μετρά τη συνοχή της αφαίρεσης υλικού από τη μια γκοφρέτα στην άλλη σε μια παρτίδα, κρίσιμης σημασίας για την κατασκευή υψηλού-όγκου.
Ποσοστό αφαίρεσης:Ο ρυθμός με τον οποίο το υλικό γυαλίζεται, τυπικά εκφράζεται σε Å/min ή nm/min. Τα υψηλά ποσοστά αφαίρεσης είναι απαραίτητα για την απόδοση, αλλά όχι εις βάρος της ομοιομορφίας.
Εκλεκτικότητα:Η αναλογία του ρυθμού αφαίρεσης του φιλμ στόχου προς αυτόν του υποκείμενου στρώματος ή στοπ-. Η υψηλή επιλεκτικότητα είναι ζωτικής σημασίας για προηγμένες κατασκευές για την πρόληψη της διάβρωσης ή του πιάτου.
2. Πλατφόρμα. Αρχιτεκτονική πλατφόρμας και απόδοση
Αυτές οι προδιαγραφές καθορίζουν τη χωρητικότητα του συστήματος και την προσαρμογή του στη γραμμή παραγωγής του εργοστασίου.
Παραγωγή (Γκοφρέτες ανά ώρα
- WPH): Ο αριθμός των γκοφρετών που υποβάλλονται σε επεξεργασία ανά ώρα. Αυτό είναι ένα άμεσο μέτρο της παραγωγικότητας. Βεβαιωθείτε ότι η αναφερόμενη απόδοση είναι βιώσιμη υπό τυπικές συνθήκες διεργασίας και περιλαμβάνει γενικούς χρόνους φόρτωσης/εκφόρτωσης και προετοιμασίας.
Σχεδίαση πολλαπλών-κεφαλών/πολλαπλών- πλάκας:Τα περισσότερα σύγχρονα συστήματα διαθέτουν πολλαπλές κεφαλές στίλβωσης και πλάκες.
ΜονόκλινοΜονό-Κεφάλι/Πολλαπλό-Πλάκα:Επιτρέπει πολλαπλά βήματα διεργασίας (π.χ. τραχύ και λεπτό γυάλισμα) σε μια ενιαία πλατφόρμα.
Πολυ-Κεφαλή/Μονή-Πλάκα:Επιτρέπει την παράλληλη επεξεργασία πολλών πλακιδίων ταυτόχρονα, ενισχύοντας την απόδοση.
Συμβατότητα μεγέθους γκοφρέτας: Βεβαιωθείτε ότι το εργαλείο υποστηρίζει τις τρέχουσες ανάγκες σας (200 mm, 300 mm) και έχει μια πορεία προς τα εμπρός για μελλοντικές απαιτήσεις όπως 450 mm.
3. Τεχνολογία στίλβωσης κεφαλής και φορέα
Η κεφαλή στίλβωσης είναι η διεπαφή με τη γκοφρέτα και είναι θεμελιώδης για την επίτευξη ομοιόμορφης κατανομής πίεσης.
Έλεγχος πίεσης:Αναζητήστε προηγμένα συστήματα ελέγχου πίεσης πολλαπλών{0}ζωνών. Αυτά επιτρέπουν τον ανεξάρτητο έλεγχο της πίεσης στο κέντρο, τη μέση και την άκρη της γκοφρέτας, επιτρέποντας-διόρθωση της ανομοιομορφίας σε πραγματικό χρόνο.
Σχεδιασμός δακτυλίου συγκράτησης:Το δαχτυλίδι που συγκρατεί τη γκοφρέτα στη θέση της. Το υλικό, η αντοχή στη φθορά και ο σχεδιασμός του επηρεάζουν σημαντικά την εξαίρεση των άκρων (τη μη χρησιμοποιήσιμη περιοχή στην περίμετρο της γκοφρέτας).
Carrier Filmrier Film:Η συμβατή μεμβράνη μεταξύ της κεφαλής και της γκοφρέτας. Οι ιδιότητές του επηρεάζουν τον τρόπο μετάδοσης της πίεσης και μπορούν να προσαρμοστούν για διαφορετικές διαδικασίες.
4. Διαχείριση πολτού και χημείας
Η ακριβής παράδοση και διαχείριση των αναλωσίμων είναι ζωτικής σημασίας για τη σταθερότητα της διαδικασίας και τον έλεγχο του κόστους.
Ολοκληρωμένο σύστημα παράδοσης πολτού:Ένα αξιόπιστο,{0}}άνευ παλμών σύστημα που μπορεί να χειριστεί πολλαπλούς πολτούς και πρόσθετα (π.χ. οξειδωτικά οξειδωτικά, αναστολείς διάβρωσης) με ακριβή έλεγχο ροής και δυνατότητες ανάμειξης.
Σημείο-του-Χρήσης ανάμειξης:Η ικανότητα ανάμειξης συστατικών πολτού λίγο πριν φτάσουν στην πλάκα, η οποία βελτιώνει τη συνοχή της διαδικασίας και μειώνει τα προ-απορρίμματα πολτού.
Αναλώσιμο κόστος ανά γκοφρέτα:Αξιολογήστε την αποτελεσματικότητα του συστήματος στη χρήση του πολτού και του μαξιλαριού. Συστήματα με-ανακύκλωση κλειστού βρόχου ή σχεδιασμό χαμηλής-ροής μπορούν να προσφέρουν σημαντική μακροπρόθεσμη-εξοικονόμηση.
5. Στο-Situ Metrology and Advanced Control
Για διεργασίες αιχμής-, η παρακολούθηση και ο έλεγχος σε πραγματικό χρόνο δεν είναι πλέον προαιρετικοί.
Ανίχνευση τελικού σημείου:Συστήματα που χρησιμοποιούν οπτικούς αισθητήρες, αισθητήρες ρεύματος κινητήρα ή δινορευμάτων για να ανιχνεύσουν την ακριβή στιγμή που ένα στρώμα καθαρίζεται και ένα άλλο εκτίθεται. Αυτό αποτρέπει το υπερβολικό-γυάλισμα και βελτιώνει την απόδοση.
Ολοκληρωμένη Μετρολογία:Η συμπερίληψη εργαλείων μέτρησης (π.χ. για πάχος και τοπογραφία επιφάνειας) στην ίδια την πλατφόρμα CMP. Αυτό επιτρέπει την άμεση ανάδραση και τη διορθωτική δράση χωρίς τη μετακίνηση γκοφρετών σε έναν αυτόνομο μετρολογικό σταθμό, μειώνοντας τον χρόνο του κύκλου.
6. Αξιοπιστία, Συντήρηση και Υποστήριξη
Ένα τεχνικά λαμπρό μηχάνημα είναι άχρηστο εάν υποφέρει από συχνούς χρόνους διακοπής λειτουργίας.
Μέσος χρόνος μεταξύ αποτυχιών (MTBF) και μέσος χρόνος επισκευής (MTTR):Βασικές μετρήσεις για την αξιοπιστία και τη λειτουργικότητα. Ζητήστε ιστορικά δεδομένα από τον προμηθευτή.
Απαιτήσεις αποτύπωσης και εγκατάστασης:Σκεφτείτε τον χώρο καθαρού δωματίου, το βάρος και τις συνδέσεις κοινής χρήσης (τροφοδοσία, CDA, UPW, εξάτμιση) που απαιτούνται.
Υποστήριξη και εξυπηρέτηση προμηθευτή:Αξιολογήστε το παγκόσμιο δίκτυο υποστήριξης του πωλητή, τη διαθεσιμότητα ανταλλακτικών και την τεχνική τεχνογνωσία. Οι ισχυρές συμφωνίες παροχής υπηρεσιών είναι ζωτικής σημασίας για την ελαχιστοποίηση των διακοπών παραγωγής.
Σύναψη
Η επιλογή ενός συστήματος γυαλίσματος γκοφρέτας απαιτεί μια ολιστική προσέγγιση που εξισορροπεί τις ακατέργαστες προδιαγραφές απόδοσης με τη λειτουργική απόδοση και τη μακροπρόθεσμη αξιοπιστία-. Αξιολογώντας διεξοδικά αυτές τις βασικές προδιαγραφές-από τις θεμελιώδεις μετρήσεις επιπεδότητας όπως το WIWNU έως τις προηγμένες λειτουργίες όπως η ενσωματωμένη μετρολογία και ο έλεγχος πολλαπλών{3}ζωνικών κεφαλών-, οι κατασκευαστές μπορούν να επιλέξουν μια λύση CMP που όχι μόνο ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της σημερινής διαδικασίας αλλά είναι επίσης επεκτάσιμη για τις προκλήσεις του αύριο. Επιμένετε πάντα να εκτελείτε γκοφρέτες επίδειξης με τις συγκεκριμένες συνταγές διεργασιών σας για να επικυρώσετε από πρώτο χέρι τους ισχυρισμούς απόδοσης του συστήματος.
